表面粗糙度的測(cè)量方法基本上可分為接觸式測(cè)量和非接觸式測(cè)量?jī)深?。在接觸式測(cè)量中主要有比較法、印模法、觸針法等；非接觸測(cè)量方式中常用的有光切法、實(shí)時(shí)全息法、散斑法、像散測(cè)定法、光外差法、AFM、光學(xué)傳感器法等。

　　電感傳感器是表面粗糙度測(cè)量?jī)x的主要部件之一，在傳感器測(cè)桿的一端裝有金剛石觸針，觸針曲率半徑很小，測(cè)量時(shí)將觸針搭在工件上，與被測(cè)表面垂直接觸，利用驅(qū)動(dòng)器以一定的速度拖動(dòng)傳感器。由于被測(cè)表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測(cè)表面滑行時(shí)，將產(chǎn)生上下移動(dòng)。此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動(dòng)，從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。傳感器的線圈與測(cè)量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失去平衡，于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào)，經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。此后，將信號(hào)分成三路：一路加到指零表上，以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄；另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后，進(jìn)入積分計(jì)算器，進(jìn)行積分計(jì)算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。

　　評(píng)價(jià)粗糙度參數(shù)的根據(jù)是粗糙度輪廓，是對(duì)原始輪廓用一個(gè)輪廓濾波器，抑制掉長(zhǎng)波成份而得到。是輪廓偏離平均線的算術(shù)平均，并且是在一個(gè)取樣長(zhǎng)度內(nèi)定義的。影響濾波數(shù)據(jù)的因素有：1、取樣長(zhǎng)度和評(píng)定長(zhǎng)度的選用:取樣長(zhǎng)度是用于判別具有表面粗糙度特性的一段基準(zhǔn)線長(zhǎng)度。評(píng)定長(zhǎng)度是用于評(píng)定粗糙度時(shí)必須取一段能反映加工表面粗糙度特性的小長(zhǎng)度。2、濾波器的高、低通取樣長(zhǎng)度和帶寬比的選用也對(duì)測(cè)量結(jié)果有著十分重要的影響。取樣波長(zhǎng)是表面形貌測(cè)量時(shí)，儀器響應(yīng)的表面特性（表面波長(zhǎng)）的長(zhǎng)間距，其范圍通常是0.08mm～8mm。